Axcelis, AXCELIS TECHNOLOGIES，成立于1995年，是一家全球领先的半导体设备制造商，总部位于美国马萨诸塞州。公司主要生产针对半导体芯片制造的离子注入设备、化学机械抛光设备和清洗设备等。在全球范围内，Axcelis已经成为半导体行业的知名品牌之一，其产品在芯片制造领域拥有广泛的应用。 产品介绍 Axcelis的核心产品包括三类：离子注入设备、化学机械抛光设备和清洗设备。离子注入设备是Axcelis的主营产品，其主要作用是将离子注入到硅晶片中，以改变其电学性质。化学机械